Clear Fused Quartz

贺利氏透明熔融石英100多年的生产及应用经验

Clear Fused Quartz

贺利氏透明熔融石英可以为行业提供最佳的解决方案,例如用最出色的夹杂和气泡质量来满足最具挑战的应用场合。有了贺利氏透明熔融石英,客户就有信心来清晰地理解自己的世界。

更多信息请点击链接。

独有的材料纯化 工艺

独有的材料纯化 工艺

随着先进工艺的发展,石英材料的质量及质量稳定性成为工艺成败的关键。为了应对这个挑战,我们贺利氏石英建设有独有的材料纯化工艺生产线,并配有先进的化学分析实验室来实现对质量的完美控制。

夹杂和气泡 质量极高

夹杂和气泡 质量极高

对于需要极高纯度及气泡质量高要求的场合,贺利氏石英材料可以提供极高气泡质量和极高纯度的石英材料来对应,客户不用再为此所困扰。甚至对于半导体的最尖端制程,贺利氏石英也同样可以做相应材料支持。

杰出的 材料对

杰出的 材料对

只有贺利氏石英才能给客户提供面对所有应用的各种解决方案。我们的产品线涵盖了所有已知的熔融石英材料及更先进的合成石英材料,并整合了相应的机械加工能力。贺利氏石英可以根据客户的需求提供杰出的材料对应方案。

完整的形状 及尺寸配置

完整的形状 及尺寸配置

贺利氏石英配置有客户需要的几乎所有形状及尺寸,例如:不同大小,不同厚度,不同长短的石英棒,石英碇,石英板,石英盘等等。对应于客户的具体需求(牌号,形状,尺寸),我们能够以贺利氏的透明石英材料提供相应的解决方案。

1 0 0 多年的 生产及应用

1 0 0 多年的 生产及应用

对于透明熔融石英材料,贺利氏有超过100年的生产及应用经验。这些经验使贺利氏石英成为帮助客户面对现实及未来挑战的最佳选择。

电熔工艺

电熔是制作石英玻璃最常用的工艺。电熔工艺名称的由来是因为加热过程是使用电阻加热器来加热。熔制过程中,当电流经过电阻加热器时,加热器就会发热,从而对石英玻璃进行加热,所以称为“电熔”。

电熔工艺的优点是得到的石英玻璃OH(羟基)含量相比其它工艺要低。通常低于30ppm。石英玻璃的 OH(羟基)含量跟材料的最高可工作温度直接相关,由此电熔石英玻璃可适用于高温应用场合。

电熔工艺可以选择使用连续式(连熔)或间歇式熔制,来制造各种形状/尺寸的石英玻璃材料。

气炼工艺

气炼工艺跟电熔工艺相反,熔制过程不是通过电流,而是通过H2/O2(氢氧焰)的燃烧,来获取加热和熔化石英玻璃所需的高温。来自贺利氏的Richard Küch是世界上第一个用此工艺制造石英玻璃的化学家。这个100多年前的发明,使Richard Küch和贺利氏成为了行业的先驱。

贺利氏是当今唯一能够用连续法生产气炼熔融石英玻璃的公司。连续法气炼熔融石英材料综合了气炼工艺及连续法的优点。极低的气泡含量,使贺利氏气炼石英材料能够成为半导体等离子刻蚀工艺所需石英材料的最佳选择。

贺利氏能够提供最大尺寸可达1.5m x 1.2m或更大的气炼熔融石英锭材料。

合成石英玻璃工艺

天然石英玻璃与合成石英玻璃最大的区别来自于原材料。天然石英玻璃是由天然石英砂作为原料制得的,相应的石英砂来自于石英矿/水晶矿。合成石英玻璃是用气体化学品作为原料制得的。所用的气体化学品通常会含有硅原子,硅原子与氧气反应生成高纯的二氧化硅,即为合成石英玻璃。这种工艺由于采用了高纯的化学品原料,制得的合成石英玻璃材料的纯度相比天然石英玻璃材料有量级的区别,高出很多。

在一些对于工艺环境纯度要求极高的尖端应用场合,合成石英玻璃(又称为熔融二氧化硅),是一种理想的选择。

我们的合成熔融石英同样可以提供各种形状、尺寸规格的材料以供客户选择。

电学性能

参数 电熔石英 气炼石英 熔融二氧化硅
电阻率(Ω × m) 20 °C
1200 °C
1018
1.3 × 105
1018
1.3 × 105
1016
1.3 × 105
介电强度(KV/mm) 20 °C 25 ... 40 25 ... 40 25 ... 40
介电损耗角(tg δ) 1 MHz 1.0 × 10-4 1.0 × 10-4 1.0 × 10-4
介电常数(ε) 20 °C 1 MHz 3.70 3.70 3.70

机械性能

电熔石英 气炼石英 熔融二氧化硅
密度(g/cm3) 2.203 2.203 2.201
莫氏硬度 5.5 ... 6.5 5.5 ... 6.5 5.5 ... 6.5
微观硬度(N/mm2) 8600 ... 9800 8600 ... 9800 8600 ... 9800
努氏硬度(N/mm2) 5800 ... 6100 5800 ... 6100 5800 ... 6200
弹氏模量20 °C (N/mm2) 7.25 × 104 7.25 × 104 7.25 × 104
弯曲模量(N/mm2) 3.0 × 104 3.1 × 104 3.0 × 104
泊松比 0.17 0.17 0.17
抗压强度(MPa) 1150 1150 1150
拉伸强度(MPa) 50 50 50
弯曲强度(MPa) 67 67 67
抗扭强度(MPa) 30 30 30
音速(m/s) 5720 5720 5720

热学性能

技术参数 电熔石英 气炼石英 熔融二氧化硅
最高可工作温度 连续的(°C)
短期的(°C)
1160
1300
1110
1250
950
1200
平均比热容(J·g-1·K-1) 772 772 772
热导率 (W·m-1·K-1) 20 °C 1.38 1.38 1.38
平均膨胀系数 (K–1) 0.47 × 10–6 0.47 × 10–6 0.47 × 10–6
返回顶部