石英表面处理工艺

Quartz Service Treatments_Coating Technology

石英制品的表面状况起着至关重要的作用,在半导体生产过程中尤为如此。

贺利氏的石英表面处理工艺可延长石英制品的使用寿命和/或节约成本。

贺利氏高度关注创新的材料和工艺。我们沿用了吹制玻璃和制作陶瓷的相关工艺。上述两项工艺的有机结合使我们能够在透明的石英玻璃上附着不透明的石英涂层-贺利氏反射涂层。

这种不透明的石英涂层具有优异的反射特性,在红外光下性能尤佳。这一技术可在高温加工工艺中优化热能管理并确保受热均匀性。HRC采用了与贺利氏其他所有高纯石英解决方案相同的原材料,因此,其热膨胀系数与其他解决方案中的石英材料也是一样的。

数据表:HRC®-适用于制成组件的贺利氏反射涂层
数据表:HRC®-适用于灯具制作的贺利氏反射涂层

当进行半导体沉积工艺时,石英制品的表面将附着上一层薄膜。该沉积膜对石英表面附着力的强弱将对石英制品的平均无故障间隔时间(MTBC)产生显著的影响。贺利氏SST是一种特殊表面处理工艺,该工艺能够增加沉积膜对石英表面的附着力,能使更厚的沉积膜也保持稳定,不脱落,进而达到延长使用寿命,抑制颗粒的效果。这将有助于降低石英制品的使用成本。

在半导体蚀刻工艺中,贺利氏SST能够为沉积在洁净石英制品表面的聚合物薄膜提供更强的附着力。这将有助于减少老化时间并延长MTBC。

数据表:SST-特殊表面处理工艺

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