适用于半导体应用的石英管

石英玻璃管

熔融石英管可作为高纯反应室、气体/液体入口或输送管道广泛应用于分批式烧制炉之中。

气泡含量低、纯度高和严苛的尺寸公差是这些熔融石英管的重要特性,可满足半导体行业的严苛要求。

这些管材既可作为原材料, 亦可作为成品解决方案 .

天然石英玻璃管

贺利氏可提供各种等级的电熔石英管,以满足半导体行业不同的纯度要求。电熔工艺可生成粘度最高的石英材料,适用于对粘度要求苛刻的分批式高温烧制炉和单片式炉。
直径范围:2 mm<DIA<960 mm。
贺利氏还提供可用于扩管的母管。

合成熔融石英管

半导体制造的线宽不断变小,合成熔融石英的使用能更好地满足对更高环境清洁度的要求。合成熔融石英的杂质含量最低。
直径范围:2 mm<DIA<960 mm。

高温稳定管

卧式炉的扩散、氧化和退火工序要求非常苛刻,需要在高温环境下(>1150°C)能保持温度稳定性能的特种石英材料。贺利氏HSQ®400可以很好地应对这些加工环境的挑战。

数据表:HSQ®400-高温稳定管

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