Heraeus Opaque Quartz OM®

Retain the heat of your world.

Einzigartige thermische Eigenschaften

Unser opakes Quarzglas OM® ist ein hochreines, lichtundurchlässiges Quarzglas. Im Vergleich zu anderen lichtundurchlässigen Materialien führt die eigenentwickelte Technologie zu einer einzigartigen Mikroporosität, die im Vergleich zu anderen opaken Materialien deutlich bessere thermische Eigenschaften aufweist.

Inhaltsverzeichnis

Verfügbare Produktlösungen

Das bei OM®100 eingesetzte Fertigungsverfahren ermöglicht die Erzeugung nahezu fertig ausgeformter Komponenten schon bei der Herstellung. Das verringert den Materialausschuss und die Notwendigkeit einer weiteren Bearbeitung, was wiederum zur kostengünstigeren Herstellung der Fertigteile beiträgt.

Für verfügbare Abmessungen und mögliche maximale Abmessungen nehmen Sie gerne Kontakt mit uns auf.

Ihre Vorteile

Wärmeschutzeigenschaften

OM®100 stellt dank seiner ungewöhnlich hohen Reflektivität ein ideales Wärmeschutzmaterial dar, das die Total Cost of Ownership z. B. bei adiabatischen Platten senkt. Der geringere Wärmeverlust gibt Ihnen mehr Kontrolle über den Prozess, senkt den Energiebedarf und verlängert die Standzeit der Heizkomponenten. Mit seinen Wärmeschutzeigenschaften übertrifft OM®100 alle heute marktgängigen Werkstoffe vergleichbarer Qualität.

Endkonturnahe Fertigung

Das bei OM®100 eingesetzte patentierte Fertigungsverfahren ermöglicht die Erzeugung nahezu fertig ausgeformter Komponenten schon bei der Herstellung. Das verringert den Materialausschuss und die Notwendigkeit einer weiteren Bearbeitung, was wiederum zur kostengünstigeren Herstellung der Fertigteile beiträgt.

Einzigartige Oberflächenqualität

Weißes opakes Quarzglas wird häufig zum Wärmeschutz von O-Ringen bei Flanschen oder Kammerdichtungen eingesetzt. Eine optimale Dichtwirkung erzielt ein O-Ring nur bei besonders glatter Oberfläche. Die besonderen physikalischen Eigenschaften von OM®100 erzeugen nach der Herstellung und mehreren Aufarbeitungsschritten eine deutlich höhere Oberflächengüte. Im Vergleich zu anderen opaken Quarzglasprodukten entsteht eine gleichbleibend optimale Abdichtung und längere Lebensdauer.

Kompatibilität mit klarem Quarzglas

Einer der zentralen Merkmale von OM®100 sind die mit klarem Quarzglas (z. B. HSQ®300) vergleichbaren Verarbeitungseigenschaften bei Heiß- und Kaltverfahren. OM®100 ist vollständig zum Warm- und Kaltumformen von klarem Quarzglas kompatibel und kann geschweißt, flammpoliert oder thermisch reformiert werden. Zudem ist OM®100 in besonders anspruchsvollen Anwendungen auch für die Erzeugung höchster Präzision durch CNC-Bearbeitung oder optisches Polieren geeignet.

Extrem hohe Reinheit

Mit einer Gesamtverunreinigung von unter 50 ppm genügt OM®100 auch höchsten Ansprüchen der heutigen Halbleitertechnik. Für die nächste Generation der Halbleiteranwendungen und ihre extremen Reinheitsanforderungen befindet sich eine synthetische Version von Heraeus OM® in der Entwicklung. Ein synthetischer, opaker Werkstoff von Heraeus bietet neben den sonstigen Vorteilen von OM®100 eine Gesamtverunreinigung von unter 1 ppm.

Anwendungsbereiche

Fabricated Component

Platten für Batch-Ofen-Anwendungen

Heraeus OM®100 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen in der Prozesskette der Halbleiterherstellung. Ein Beispiel sind Ofenanwendungen.

Platten aus Heraeus OM®100 sind die optimale Wahl, um in Sockel für Ofenanwendungen integriert oder als Adiabat verwendet zu werden. Das hohe Reflexionsvermögen in Kombination mit der geringen Transmission macht OM®100 zum idealen Material, um die Wärme im Ofen zu speichern und den Energieverlust aufgrund der Wärmeabfuhr zu verringern.

Dies ermöglicht nicht nur eine höhere thermische Gleichmäßigkeit in der Prozesskammer, was letztendlich zu einer höheren Prozessausbeute führt, sondern senkt auch den Energieverbrauch, was unmittelbar zu einer Verbesserung der Betriebskosten führt.

Flange

Flansche für Batch-Ofen-Anwendungen

Die Herstellung eines vakuumdichten Verschlusses an Ihrer Prozesskammer ist ein wichtiger Prozessparameter. Heraeus OM®100 ist aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften, die eine optimierte Oberflächenbeschaffenheit ermöglichen, die beste Wahl.

Halbleiter-Batch-Öfen erfordern eine hervorragende Abdichtung, um den Austritt von Prozessgasen in die Atmosphäre und den Eintritt von Atmosphäre in die Prozesskammer zu verhindern. Eine dichte Dichtfläche ist daher sowohl für die Sicherheit als auch für die Optimierung der Prozessleistung von entscheidender Bedeutung.

Mit OM®100 erreichen Sie eine perfekte Dichtfläche über die gesamte Lebensdauer der Prozesskammer einschließlich mehrerer Reinigungszyklen. Mit Heraeus OM®100 wird der beste Oberflächenzustand bei verfügbaren Wärmedämmungsmaterialien erzielt. Im Gegensatz zu anderen Materialien, die normalerweise für Anwendungen zur thermischen Isolierung verwendet werden, bleibt die Oberfläche von OM®100 nach mehreren Ätzzyklen makellos. Dies ermöglicht eine längere Nutzungsdauer im Vergleich zu anderen Lösungen von Mitbewerbern, bei denen die Nutzungsdauer aufgrund von Oberflächenerosion und dem zunehmenden Risiko von undichten Vakuumdichtungen verkürzt wurde.

Technische Daten

OM® 100
Allgemeine Eigenschaften Dichte: 2.15 - 2.18 g/cm3
Porosität: <2.3%
Lochgröße: <20µm
Elektrische Eigenschaften Widerstand (20°C): >1018 Ω∙m
Widerstand (1200°C) 1.3 x 105Ω∙m
Typ: Isolator
Dielektrizitätskonstante (εr) bei 13,56 MHz: 3.70
Mechanische Eigenschaften Zugfestigkeit: 50 MPa
Biegefestigkeit: 84 MPa
Druckfestigkeit: >1000 MPa
Young'scher Modul: 54 GPa
Thermische Eigenschaften Wärmeausdehnung: 0.47 x 10-6 K-1
Wärmeleitfähigkeit (20°C): 1,24 W∙m-1∙K-1
Spezifische Wärme: 0.70 J∙g-1∙K-1
Max. Arbeitstemperatur: 1100 °C (long), 1300 °C (short)
Reflexionsvermögen: ~80%

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