HSQ®

Das komplette Materialportfolio für Halbleiteranwendungen.

Heraeus Conamic stellt Quarzglasprodukte unter Anwendung verschiedener Schmelzverfahren her. Die Materialqualitäten und verfügbaren Abmessungen sind jeweils für die Endanwendung optimiert.

Unsere Produkte aus elektrisch geschmolzenem Quarzglas sind der Maßstab für hohe thermische Stabilität bei gleichzeitig hoher Reinheit und Homogenität des Materials. Die Produkte aus synthetischem Quarzglas bieten eine hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität. Beide Produkttypen sind in verschiedenen Geometrien und Größen unter der Heraeus Conamic Marke HSQ® erhältlich.

Inhaltsverzeichnis

HSQ® Produktportfolio

Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen HSQ®-Materialien, die Heraeus Conamic anbietet, jeweils hervorgehoben mit den relevanten Eigenschaften in diesem Anwendungssegment.

Materialqualität Herstellungsart Anwendungsbereich Merkmal
HSQ® 100 Elektrisch Industrie Hohe thermische Stabilität, kosteneffiziente Lösung aufgrund des einstufigen elektrischen Schmelzverfahrens, hohe chemische Reinheit
HSQ® 300 Elektrisch Halbleiter, Solar und Industrie Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen
HSQ® 330 (S) Elektrisch Halbleiter mit hoher und sehr hoher Reinheit Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, insbesondere mit engeren Grenzwerten für alkalische und metallische Verunreinigungen, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen
HSQ® 400 Elektrisch Industrie, Solar, Halbleiter Sehr hohe thermische Stabilität durch chemische Stabilisierung, hohe chemische Reinheit, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen
HSQ® 700 Elektrisch Halbleiter, Industrie Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, insbesondere geringe Konzentration von Alkalimetallen, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen
HSQ® 900 Synthetisch Spitzentechnologische Halbleiteranwendungen Hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität, nahezu frei von Blasen und Einschlüssen, erhältlich in verschiedenen Geometrien
HSQ®-T Synthetisch Spitzentechnologische Halbleiteranwendungen Hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität, nahezu frei von Blasen und Einschlüssen, auch als großes Barrenmaterial erhältlich

Schmelzverfahren von HSQ®

Elektrisches Schmelzen

Das elektrische Schmelzen ist das am weitesten verbreitete Verfahren zur Herstellung von Quarzglas. Der Name leitet sich von der Art der Rohstofferwärmung ab, hier also von dem elektrischen Strom, der den Schmelzofen erhitzt.

Der Vorteil des elektrischen Schmelzens liegt in dem im Vergleich zu anderen Schmelzverfahren geringeren OH-Gehalt, der typischerweise bei <30 ppm liegt. Da der OH-Gehalt die Arbeitshöchsttemperatur des Quarzglases direkt beeinflusst, ist elektrisch geschmolzenes Quarzglas besonders für Hochtemperaturanwendungen geeignet.

Elektrisches Schmelzen eignet sich gleichermaßen für kontinuierliche Schmelzverfahren als auch für das Schmelzen von großen Blöcken und ermöglicht daher sehr unterschiedliche Geometrien, Formen und Größen.

Synthetisches Quarzglas

So genanntes natürliches und synthetisches Quarzglas unterscheidet sich hauptsächlich in den eingesetzten Ausgangsstoffen. Während natürliches Quarzglas ausQuarzsand hergestellt wird, kommen bei synthetischem Quarzglas chemische Gase als Rohstoff zum Einsatz. In Verbindung mit Sauerstoff entsteht aus diesen Silizium enthaltenden chemischen Gasen hochreines Siliziumdioxid. Im Vergleich zu natürlichem Quarzglas lassen sich auf diese Weise vielfach höhere Reinheitsgrade erreichen.

Synthetisches Quarzglas ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen geeignet, bei der die Reinheit der Prozessumgebung von entscheidender Bedeutung ist. Unser synthetisches Quarzglas ist in den gleichen Formen, Geometrien und Maßen erhältlich wie das elektrisch geschmolzenes Quarzglas.

Vorteile von HSQ®

  • Hohe thermische Stabilität (elektrisch geschmolzenes Quarzglas)
  • Hervorragende synthetische Reinheit (synthetisch geschmolzenes Quarzglas)
  • Geringer Anteil an Einschlüssen und Blasen

  • In-house Materialaufbereitung
  • > 100 Jahre Erfahrung
  • Vollständiges Portfolio in Form und Größe

Anwendungsbereiche

  • Prozessrohre für Single Wafer Anwendungen und Batchöfen
  • Deckplatten für Außenrohre
  • Boote für Batchöfen

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