Heraeus Neonyx® - Der neue Standard für synthetisches Quarzglas

Die Neudefinition von Quarzglaswerkstoffen: Eine neue Materialplattform

Inhaltsverzeichnis

Vorteile von Neonyx®

  • Minimierung von Verunreinigungen und Einschlüssen
  • Optimierte Prozessleistung und -ertrag
  • Verbesserte Gesamtbetriebskosten

  • Geeignet für alle Halbleiterprozesse
  • Verwirklicht Wärmemanagement mit synthetischen Materialien

  • Vollständig kontrollierte Versorgung mit Rohstoffen
  • Verfügbar in hohen Mengen

Neonyx® synthetisches Quarzglas Portfolio

Neonyx HSQ-T

Neonyx HSQ-T

Neonxy HSQ-T wurde für Batch-Ofenanlagen entwickelt und bietet Ihnen alle Vorteile von Heraeus HSQ in Kombination mit den fortschrittlichen Eigenschaften von synthetischem Quarzglas, ohne dass sich das verfügbare Produktportfolio ändert. Neonyx HSQ-T ist als Rohr mit großem oder kleinem Durchmesser, Stab, Block oder Platte erhältlich. Damit ist es möglich eine komplette Batch-Ofenanlage aus derselben Materialqualität herzustellen.

 Broschüre: Neonyx® HSQ-T

Neonyx TSC-T

Die Materialqualität der nächsten Generation für Single-Wafer-Anwendungen: Neonyx TSC-T. Neonyx TSC-T übertrifft die bereits bewährten Eigenschaften des Hochleistungsmaterials TSC-3/4 und bietet darüber hinaus einen einzigartig niedrigen Gehalt an Blasen und Materialeinschlüssen, um die Herausforderungen Ihrer High-End-Single-Wafer-Anwendungen zu meistern.

 Broschüre: Neonyx® TSC-T

Neonyx OM

Neonyx OM

Neonyx OM ist das erste synthetische, weiß-opake Material, das auch bei steigenden Anforderungen an Materialreinheit und Materialkonsistenz die Möglichkeit eines vollständigen Wärmemanagements bietet.

 Broschüre: Neonyx® OM

Anwendungsbereiche

Abscheidungs- und Ätzprozesse sind einer der kritischsten Prozesse in der Halbleiterfertigungskette. Die fortschreitende Integration in die dritte Dimension stellt neue und zunehmend anspruchsvollere Anforderungen. Neonyx ist das richtige Material für diese Herausforderungen. Lesen Sie nachfolgend mehr über die einzelnen Prozesse.

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