- Minimierung von Verunreinigungen und Einschlüssen
- Optimierte Prozessleistung und -ertrag
- Verbesserte Gesamtbetriebskosten
Heraeus Neonyx® - Der neue Standard für synthetisches Quarzglas
Die Neudefinition von Quarzglaswerkstoffen: Eine neue Materialplattform
Vorteile von Neonyx®
- Geeignet für alle Halbleiterprozesse
- Verwirklicht Wärmemanagement mit synthetischen Materialien
- Vollständig kontrollierte Versorgung mit Rohstoffen
- Verfügbar in hohen Mengen
Neonyx® synthetisches Quarzglas Portfolio
Neonyx HSQ-T
Neonxy HSQ-T wurde für Batch-Ofenanlagen entwickelt und bietet Ihnen alle Vorteile von Heraeus HSQ in Kombination mit den fortschrittlichen Eigenschaften von synthetischem Quarzglas, ohne dass sich das verfügbare Produktportfolio ändert. Neonyx HSQ-T ist als Rohr mit großem oder kleinem Durchmesser, Stab, Block oder Platte erhältlich. Damit ist es möglich eine komplette Batch-Ofenanlage aus derselben Materialqualität herzustellen.
Neonyx TSC-T
Die Materialqualität der nächsten Generation für Single-Wafer-Anwendungen: Neonyx TSC-T. Neonyx TSC-T übertrifft die bereits bewährten Eigenschaften des Hochleistungsmaterials TSC-3/4 und bietet darüber hinaus einen einzigartig niedrigen Gehalt an Blasen und Materialeinschlüssen, um die Herausforderungen Ihrer High-End-Single-Wafer-Anwendungen zu meistern.
Neonyx OM
Neonyx OM ist das erste synthetische, weiß-opake Material, das auch bei steigenden Anforderungen an Materialreinheit und Materialkonsistenz die Möglichkeit eines vollständigen Wärmemanagements bietet.
Anwendungsbereiche
Abscheidungs- und Ätzprozesse sind einer der kritischsten Prozesse in der Halbleiterfertigungskette. Die fortschreitende Integration in die dritte Dimension stellt neue und zunehmend anspruchsvollere Anforderungen. Neonyx ist das richtige Material für diese Herausforderungen. Lesen Sie nachfolgend mehr über die einzelnen Prozesse.
