TSC®

Die Lösung für sehr geringe Blasen und Einschlüsse im Bereich der Halbleiteranwendungen.

Heraeus Conamic stellt Quarzglasprodukte unter Anwendung verschiedener Schmelzverfahren her. Die Materialqualitäten und verfügbaren Abmessungen sind jeweils für die Endanwendung optimiert.

Unsere Produkte aus flammgeschmolzenem Quarzglas* werden unter der Marke TSC® zusammengefasst und sind die Lösung für sehr geringe Blasen und Einschlüsse bei gleichzeitig hoher Reinheit und Homogenität des Materials.

* Für TSC-T® wird ein synthetischer Soot-Prozess verwendet.

Inhaltsverzeichnis

TSC® Produktportfolio

Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen TSC®-Materialien, die Heraeus Conamic anbietet, jeweils hervorgehoben mit den relevanten Eigenschaften in diesem Anwendungssegment.

Materialqualität Herstellungsart Anwendungsbereich Merkmal
TSC-3N® Flamme Halbleiter, besonders geeignet für Ätzsysteme Sehr niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen, kosteneffiziente Lösung durch großvolumiges Flammschmelzverfahren, hohe chemische Reinheit
TSC®-3 Flamme Halbleiter, besonders geeignet für Ätzsysteme Sehr niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen, sehr hohe chemische Reinheit, auch in großen Geometrien erhältlich
TSC®-4 Flamme Halbleiter, besonders geeignet für Ätzsysteme Sehr niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen, sehr hohe chemische Reinheit, insbesondere niedriger Aluminium- und niedriger Alkaligehalt, auch in großen Geometrien erhältlich
TSC®-T Synthetisch Spitzentechnologische Halbleiteranwendungen, besonders geeignet für Ätzsysteme Hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität, nahezu frei von Blasen und Einschlüssen, ausgewählte Geometrien in großen Mengen erhältlich

Schmelzverfahren von TSC®

Flammenschmelzen

Im Gegensatz zum elektrischen Schmelzen wird beim Flammenschmelzen kein elektrischer Strom sondern eine H2/O2-Flamme zum Erwärmen und Schmelzen des Ausgangsmaterials verwendet. Der Heraeus-Chemiker Richard Küch begann vor mehr als 100 Jahren erstmals damit, das Flammenschmelzen einzusetzen.

Als einziger Hersteller verwendet Heraeus Quarzglas ein kontinuierliches Flammenschmelzverfahren als optimale Verbindung aus kontinuierlich und flammengeschmolzenem Quarzglas.

Dank seines extrem niedrigen Blasenanteils ist flammengeschmolzenes Quarzglas von Heraeus ideal für das Plasmaätzen geeignet. Heraeus Conamic bietet zudem flammengeschmolzenes Quarzglas in extragroßen Blöcken von mehr als 1,5 x 1,2 m an.

Synthetisches Quarzglas

So genanntes natürliches und synthetisches Quarzglas unterscheidet sich hauptsächlich in den eingesetzten Ausgangsstoffen. Während natürliches Quarzglas ausQuarzsand hergestellt wird, kommen bei synthetischem Quarzglas chemische Gase als Rohstoff zum Einsatz. In Verbindung mit Sauerstoff entsteht aus diesen Silizium enthaltenden chemischen Gasen hochreines Siliziumdioxid. Im Vergleich zu natürlichem Quarzglas lassen sich auf diese Weise vielfach höhere Reinheitsgrade erreichen.

Synthetisches Quarzglas ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen geeignet, bei der die Reinheit der Prozessumgebung von entscheidender Bedeutung ist. Unser synthetisches Quarzglas ist in den gleichen Formen, Geometrien und Maßen erhältlich wie das elektrisch geschmolzenes Quarzglas.

Vorteile von TSC®

  • Sehr geringe Einschlüsse und Blasen
  • Verfügbar in großen Formaten
  • Hervorragende Reinheit (synthetisches Quarzglas)

  • In-house Materialaufbereitung
  • > 100 Jahre Erfahrung
  • Verbesserte Gesamtbetriebskosten

Anwendungsbereiche

  • Fokusringe für Plasma-Ätzsysteme
  • Fenster in Beschichtungssystemen
  • Abdeckungen für Ätzsysteme

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