Optische Materialien für UV-Anwendungen

Optische Materialien für UV-Anwendungen ©Jürgen Fälchle - stock.adobe.com

Der Fokus Ihrer Anwendung liegt auf dem Wellenlängenbereich von
180 – 400 nm:

  • Vakuum-UV-Bereich (VUV): < 190 nm
  • Tiefer UV-Bereich (DUV): 190 - 280 nm
  • UV-Bereich: 280 - 400 nm

Die wichtigsten optischen Eigenschaften für diesen Wellenlängenbereich sind hohe Transmission, ausgezeichnete Reinheit, keine Fluoreszenz sowie hervorragende Widerstandsfähigkeit gegen UV- oder eine andere hochenergetische Strahlung. Typische Anwendungsbereiche im UV-Wellenlängenbereich umfassen: Mikrolithografie, Spektroskopie, Laserfusionsprojekte und andere Anwendungen, bei denen eine Bestrahlung durch Excimerlaser oder UV-Lampen erfolgt.

Quarzglas_3D-Material
Strahlengang in einem Retroreflektor/Herausforderungen: Rückreflexion in die gleiche Richtung.

Die kritischsten optischen Elemente sind in der Regel Prismen, Linsen und Strahlteiler. Die Qualität dieser Komponenten trägt wesentlich zur Leistungsfähigkeit des gesamten optischen Systems bei. Der Lichtweg unterschiedlicher Strahlen im Material bei derartigen optischen Elementen kann unterschiedlich lang sein. Insbesondere bei den größeren optischen Komponenten können diese Strahlen lokal variierende Brechungsindizes aufweisen. Daher ist wichtig, dass in keiner Ausbreitungsrichtung eine optische Verzerrung auftritt. Ein isotropes optisches Material mit einer homogenen Brechungsindexverteilung ist erforderlich. Heraeus Conamic verfügt über ein einzigartiges Verfahren, um echte 3D-Materialien mit herausragenden optischen Eigenschaften zur Verfügung zu stellen.
Weitere Informationen zu 3D-Materialien

Empfohlene Materialien:
Aufgrund ihrer 3D-Homogenität (gekennzeichnet durch +, ++, +++) empfehlen wir die folgenden Materialien. Um die Auswahl zu erleichtern haben wir zusätzliche Informationen angegeben. Aber natürlich können Sie sich auch jederzeit an unsere Experten wenden.

  • Suprasil 311 (3D:+++)
  • Suprasil 3301 (höchste VUV-Transmission, 3D:+++)
  • Suprasil 1 (gute Strahlungshärte, niedrige Fluoreszenz, 3D:++)
  • Suprasil 1 ArF/KrF (höchste Strahlungshärte, niedrigste Fluoreszenz, 3D:++)

Quarzglasblock
Typisches Fenster aus Quarzglas

Optische Komponenten wie Fenster, Filter, Polarisatoren oder Lichtleiter erfordern eine Lichtdurchlässigkeit in Funktionsrichtung mit nur minimalsten Verzerrungen. Optische Komponenten (meist Plano-Plano) aus Quarzglas besitzen eine ausgezeichnete Homogenität und können für ein breites Anwendungsspektrum eingesetzt werden – nicht nur als Transmissionsfenster in rauen Umgebungen, sondern auch als Grundmaterial für optische Filter und Polarisatoren.


Empfohlene Materialien:
Aufgrund ihrer Homogenität in Funktionsrichtung (gekennzeichnet durch +, ++, +++) empfehlen wir die folgenden Materialien. Um die Auswahl zu erleichtern haben wir zusätzliche Informationen angegeben. Aber natürlich können Sie sich auch jederzeit an unsere Experten wenden.

  • Suprasil® 312 (Grundmaterial, Homogenität: +++)
  • Suprasil® 3302 (verbesserte VUV-Transmission, Homogenität: +++)
  • Suprasil® 2A (gute Strahlungshärte und niedrige Fluoreszenz, Homogenität: ++)
  • Suprasil® 2 ArF/KrF (höchste Strahlungshärte und niedrigste Fluoreszenz, Homogenität: ++)
  • Suprasil® 2B (gute Strahlungshärte und niedrige Fluoreszenz, Homogenität: +)
  • Spectrosil 2000 (niedrige Fluoreszenz, Homogenität: +)
  • Suprasil® UVL (höchste Strahlungshärte und niedrigste Fluoreszenz, Homogenität: +)

Bei Spiegeln, Wafern, Schutzglas und Substraten kommt alles auf die Oberfläche oder auf eine sehr dünne Materialschicht an. Bei diesen Anwendungen steht nicht die optische Homogenität im Vordergrund. Andere optische Parameter wie etwa eine hervorragende Transmission, ein sehr guter Wärmeausdehnungskoeffizient und andere mechanische, thermische und chemische Eigenschaften sind ggf. wichtiger.

Empfohlene Materialien:

  • Spectrosil 2000 (gute Strahlungshärte)
  • Suprasil® 313 (gute Homogenität, niedriger OH-Gehalt) Datenblatt

Linsen und Rohlinge aus Quarzglas
Kundenspezifische optische Komponenten

Optische Komponenten werden zunehmend komplexer und unterscheiden sich deutlich von optischen Standardkomponenten vor einigen Jahrzehnten. Angesichts der Komplexität von Anwendungen in Industrie und Wissenschaft sind Spezifikationen sehr viel strenger. Bauteile können jede erdenkliche Form haben und Größen bis zu 1,5 m erreichen. Heraeus Conamic war an vielen Projekten beteiligt, in denen maßgeschneiderte optische Komponenten benötigt wurden. Unsere langjährige Kompetenz im Bereich der Forschung und Entwicklung versetzt uns in die Lage, Sie auch dann zu unterstützen, wenn es um ungewöhnliche und sehr spezielle optische Komponenten geht.

Bitte setzen Sie sich direkt mit uns in Verbindung, damit wir gemeinsam eine Lösung für Ihr Problem erarbeiten können.