Quarzglasprodukte für Halbleiteranwendungen

Quarzglas ist ein Schlüsselmaterial für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Erfahren Sie mehr darüber, wie Sie das beste Quarzglas für Ihre Halbleiteranwendung finden.

Heraeus Conamic stellt Quarzglasprodukte für Halbleiteranwendungen in einer Vielzahl von Materialqualitäten und Abmessungen her. Die angebotenen Produkte zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt und engen Abmessungstoleranzen aus.

Inhaltsverzeichnis

Produktportfolio für Halbleiteranwendungen

Das Produktportfolio von Heraeus Conamic für Halbleiteranwendungen kann in zwei Hauptbereiche – je nach Art der Herstellung – unterteilt werden:

Unter Quarzglasrohmaterialien verstehen wir die grundlegenden Produktgeometrien wie Blöcke, Stäbe, Rohre, Platten und mehr. Heraeus Conamic bietet in diesem Bereich Produkte in einer standardisierten Form an, die bereits in bestimmten geometrischen Dimensionen wie Außendurchmesser, Wandstärke oder Länge an die Endanwendung angepasst werden können.

Im Bereich der Quarzglaskomponenten bietet Heraeus Conamic Quarzglasprodukte an, die entsprechend der Zeichnung für die endgültige Anwendung weiterbearbeitet werden. Dies ermöglicht unseren Kunden, Quarzglaskomponenten in den finalen Geometrien aus den Händen eines kompetenten Anbieters zu erhalten. Unsere Quarzglaskomponenten lassen sich nach der Produktionsart der Halbleiteranwendungen unterscheiden:

Quarzglasprodukte für Single-Wafer-Anwendungen

Quarzglasprodukte für Single-Wafer-Anwendungen

Heraeus ist in der Lage, Quarzglasprodukte wie z.B. Ringe, Fenster, Dome und Liner für alle gängigen Single-Wafer-Anwendungen zu liefern. Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen 6 bis 12 Zoll-Wafer (andere Größen auf Anfrage) verarbeitet werden

Um eine optimale Leistung der fertigen Quarzglasprodukte zu gewährleisten, ist die Wahl des geeigneten Rohmaterials, der Oberflächenstruktur und der Reinheit von entscheidender Bedeutung. Durch ein weltweites Netzwerk bietet Heraeus Conamic Designunterstützung an.

Quarzglasprodukte für Batchöfen

Quarzglasprodukte für Batchöfen

Im Bereich von Batchöfen bietet Heraeus Conamic Quarzglasprodukte für alle gängigen Anwendungen, wie z.B. für die chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD), die epitaktische Abscheidung und andere Hochtemperaturverfahren an. Beispiele hierfür sind sind Prozessrohre, Liner, Sockel, Gasinjektoren und viele weitere komplexe Komponenten. Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen 4 bis 12 Zoll-Wafer verarbeitet werden

Darüber hinaus kann Heraeus auch einsatzfähige (CFI) Quarzglasprodukte zur Verfügung stellen, so dass Kunden unsere Produkte direkt nach der Lieferung und ohne weitere Behandlung verwenden können.

Um eine optimale Leistung der endgültigen Quarzglasprodukte zu gewährleisten, bietet Heraeus Conamic über sein weltweites Fertigungsnetzwerk Designunterstützung an.

Weitere Informationen über Tools und Services

Materialqualitäten für Halbleiteranwendungen

Unsere Materialqualitäten können nach der zugrunde liegenden Produktionstechnologie, die für die Herstellung der Endprodukte verwendet wird, unterschieden werden. Nachfolgend finden Sie eine Übersicht über die verschiedenen Materialqualitäten, die Heraeus Conamic anbietet, hervorgehoben mit dem Hauptmerkmal in diesem Anwendungssegment:

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Kontakt und Downloads

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Unsere Experten helfen Ihnen gerne, das beste Material für Ihre Anwendung zu finden.