Quarzglasrohre für Halbleiteranwendungen

Quartz tube

Quarzglasrohre werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von -Komponenten für Batch-Verarbeitungs-Anlagen benötigt, die in CVD-, Diffusions- und Glühprozessen eingesetzt werden.

Heraeus Conamic stellt Quarzglasrohre in einer Vielzahl von Materialqualitäten und Abmessungen her. Die angebotenen Rohre zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt und engen geometrischen Toleranzen aus.

Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen Schmelzverfahren, die Heraeus Conamic nutzt, jeweils mit dem führenden Materialvorteil in diesem Segment.

Natürliches Quarzglas

  • Elektrisch geschmolzene Quarzglasrohre
    HSQ®100 Quarzglasrohre werden in einem elektrischen Schmelzverfahren direkt gezogen. Dies ermöglicht eine kosteneffiziente Lösung für viele industrielle Anwendungen.
    Für anspruchsvollere und high-end Halbleiteranwendungen bietet Heraeus Conamic mehrstufig elektrisch geschmolzene sowie direkt gezogene Quarzglasrohre mit optimierten Eigenschaften in den Materialqualitäten HSQ®300, HSQ®330 und HSQ®330S an. Die benötigte Materialqualität hängt von den Reinheitsanforderungen der Kundenanwendung ab.
    Dies resultiert in einer Materialqualität mit verbesserter Homogenität und niedrigem OH-Gehalt für eine hohe thermische Stabilität in der Endanwendung.
  • Elektrisch geschmolzene und stabilisierte Quarzglasrohre
    Für Hochtemperaturanwendungen bietet Heraeus Conamic elektrisch geschmolzene Quarzglasrohre mit einer verbesserten Temperaturstabilität an, um die Gefahr von thermischen Deformationen („Sagging“) bei erhöhten Arbeitstemperaturen zu reduzieren.
    Die verwendeten Quarzglasrohre mit großem Durchmesser werden daher mit einem Spezialmittel imprägniert, um eine Stabilisierungsschicht in der Endanwendung zu bewirken. Die entstehenden Quarzglasrohre werden unter der Materialqualität HSQ®400 angeboten.

Synthetisches Quarzglas

Synthetisch hergestellte Quarzglasrohre

Heraeus Conamic stellt synthetische Quarzglasrohre für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie her. HSQ®900 ist die entsprechende Materialqualität, die sich durch eine Reinheit im Bereich von parts per billion (Milliardstel) sowie einem Null-Blasen-Gehalt auszeichnet.

Weitere Informationen über HSQ®

Quarzglasrohre werden in Batchöfen als chemisch reine Reaktionskammern, als Gas- oder Flüssigkeitseinlässe oder als Transportrohre eingesetzt.

Das Portfolio von Heraeus Conamic umfasst mehrere Materialqualitäten, um alle OEM-Anforderungen zu erfüllen, einschließlich anspruchsvoller Spezifikationen für ultrahohe Reinheiten.