Heraeus bietet eine Aufbereitung und Reparatur von Quarzprodukten für alle gängigen Anwendungen an, wie z. B. für die chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD), die epitaktische Abscheidung und andere Hochtemperaturverfahren.
Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen 6 bis 12 Zoll-Wafer (andere Größen auf Anfrage) verarbeitet werden.
Aufbereitung von Quarzglas für CVD-Verfahren
Rohre für CVD-Anwendungen sind im Betrieb extremen Belastungen ausgesetzt. Diese Rohre können durch Installation eines neuen Rohres und einer Kuppel so aufbereitet werden, dass sie annähernd dem Neuzustand entsprechen. Dabei wird der Flansch so repariert, dass die Dichtfläche wiederhergestellt wird. Ein solches Recycling des Rohrflansches kann erhebliche Auswirkungen auf die Betriebskosten und die Bearbeitungszeit haben.
Reparatur
Durch eine Reparatur von abgeplatzten Stellen, beschädigten Anschlüssen, gebrochenen Sockelrippen und kleinen Rissen von Quarzglaskomponenten lassen sich die Kosten im Vergleich zu einem kompletten Austausch erheblich reduzieren. Bitte halten Sie Rücksprache mit unseren Spezialisten, die Ihnen gern Möglichkeiten für die Reparatur Ihrer Produkte aufzeigen. Wenn eine Reparatur möglich ist, wird das Teil in der Regel an einen unserer Reparaturstandorte geschickt. Dort erstellen wir einen individuellen Kostenvoranschlag für die Instandsetzung.
Hochtemperaturoxid-Waferträger können sich über längere Zeiträume verformen. Wir bieten die Möglichkeit, die Stäbe zu begradigen und den Waferträger wieder in einen gebrauchsfähigen Zustand zu versetzen.
Produktbeispiele für Batch-Systeme sind Prozessrohre, Auskleidungen, Waferträger und -sockel, Gasinjektoren, Glasglocken und viele weitere komplexe Komponenten.
