Opakes Quarzglas

Heraeus Opaque Quartz OM® -
einzigartige thermische Eigenschaften

Opaque Material

Unser opakes Quarzglas OM® ist ein hochreines, lichtundurchlässiges Quarzglas. Im Vergleich zu anderen lichtundurchlässigen Materialien führt die eigenentwickelte Technologie zu einer einzigartigen Mikroporosität, die im Vergleich zu anderen opaken Materialien deutlich bessere thermische Eigenschaften aufweist.
Nachfolgend finden Sie weitere Informationen.

Heat blocking properties

Wärmeschutzeigenschaften

OM®100 stellt dank seiner ungewöhnlich hohen Reflektivität ein ideales Wärmeschutzmaterial dar, das die Total Cost of Ownership z. B. bei adiabatischen Platten senkt. Der geringere Wärmeverlust gibt Ihnen mehr Kontrolle über den Prozess, senkt den Energiebedarf und verlängert die Standzeit der Heizkomponenten. Mit seinen Wärmeschutzeigenschaften übertrifft OM®100 alle heute marktgängigen Werkstoffe vergleichbarer Qualität.

Near net shape manufacturing

Endkonturnahe Fertigung

Das bei OM®100 eingesetzte patentierte Fertigungsverfahren ermöglicht die Erzeugung nahezu fertig ausgeformter Komponenten schon bei der Herstellung. Das verringert den Materialausschuss und die Notwendigkeit einer weiteren Bearbeitung, was wiederum zur kostengünstigeren Herstellung der Fertigteile beiträgt.

Superior surface finish

Einzigartige Oberflächenqualität

Weißes opakes Quarzglas wird häufig zum Wärmeschutz von O-Ringen bei Flanschen oder Kammerdichtungen eingesetzt. Eine optimale Dichtwirkung erzielt ein O-Ring nur bei besonders glatter Oberfläche. Die besonderen physikalischen Eigenschaften von OM®100 erzeugen nach der Herstellung und mehreren Aufarbeitungsschritten eine deutlich höhere Oberflächengüte. Im Vergleich zu anderen opaken Quarzglasprodukten entsteht eine gleichbleibend optimale Abdichtung und längere Lebensdauer.

Clear fused quartz compatibility

Kompatibilität mit klarem Quarzglas

Einer der zentralen Merkmale von OM®100 sind die mit klarem Quarzglas (z. B. HSQ®300) vergleichbaren Verarbeitungseigenschaften bei Heiß- und Kaltverfahren. OM®100 ist vollständig zum Warm- und Kaltumformen von klarem Quarzglas kompatibel und kann geschweißt, flammpoliert oder thermisch reformiert werden. Zudem ist OM®100 in besonders anspruchsvollen Anwendungen auch für die Erzeugung höchster Präzision durch CNC-Bearbeitung oder optisches Polieren geeignet.

Ultra high purity

Extrem hohe Reinheit

Mit einer Gesamtverunreinigung von unter 50 ppm genügt OM®100 auch höchsten Ansprüchen der heutigen Halbleitertechnik. Für die nächste Generation der Halbleiteranwendungen und ihre extremen Reinheitsanforderungen befindet sich eine synthetische Version von Heraeus OM® in der Entwicklung. Ein synthetischer, opaker Werkstoff von Heraeus bietet neben den sonstigen Vorteilen von OM®100 eine Gesamtverunreinigung von unter 1 ppm.

Platten für Batch-Ofen-Anwendungen

Plates

Heraeus OM®100 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen in der Prozesskette der Halbleiterherstellung. Ein Beispiel sind Ofenanwendungen.

Platten aus Heraeus OM®100 sind die optimale Wahl, um in Sockel für Ofenanwendungen integriert oder als Adiabat verwendet zu werden. Das hohe Reflexionsvermögen in Kombination mit der geringen Transmission macht OM®100 zum idealen Material, um die Wärme im Ofen zu speichern und den Energieverlust aufgrund der Wärmeabfuhr zu verringern.

Dies ermöglicht nicht nur eine höhere thermische Gleichmäßigkeit in der Prozesskammer, was letztendlich zu einer höheren Prozessausbeute führt, sondern senkt auch den Energieverbrauch, was unmittelbar zu einer Verbesserung der Betriebskosten führt.

Flansche für Batch-Ofen-Anwendungen

Flanges

Die Herstellung eines vakuumdichten Verschlusses an Ihrer Prozesskammer ist ein wichtiger Prozessparameter. Heraeus OM®100 ist aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften, die eine optimierte Oberflächenbeschaffenheit ermöglichen, die beste Wahl.

Halbleiter-Batch-Öfen erfordern eine hervorragende Abdichtung, um den Austritt von Prozessgasen in die Atmosphäre und den Eintritt von Atmosphäre in die Prozesskammer zu verhindern. Eine dichte Dichtfläche ist daher sowohl für die Sicherheit als auch für die Optimierung der Prozessleistung von entscheidender Bedeutung.

Mit OM®100 erreichen Sie eine perfekte Dichtfläche über die gesamte Lebensdauer der Prozesskammer einschließlich mehrerer Reinigungszyklen. Mit Heraeus OM®100 wird der beste Oberflächenzustand bei verfügbaren Wärmedämmungsmaterialien erzielt. Im Gegensatz zu anderen Materialien, die normalerweise für Anwendungen zur thermischen Isolierung verwendet werden, bleibt die Oberfläche von OM®100 nach mehreren Ätzzyklen makellos. Dies ermöglicht eine längere Nutzungsdauer im Vergleich zu anderen Lösungen von Mitbewerbern, bei denen die Nutzungsdauer aufgrund von Oberflächenerosion und dem zunehmenden Risiko von undichten Vakuumdichtungen verkürzt wurde.

Das bei OM®100 eingesetzte patentierte Fertigungsverfahren ermöglicht die Erzeugung nahezu fertig ausgeformter Komponenten schon bei der Herstellung. Das verringert den Materialausschuss und die Notwendigkeit einer weiteren Bearbeitung, was wiederum zur kostengünstigeren Herstellung der Fertigteile beiträgt.

Die aufgeführten Maße sind die Höchstmaße bei der jeweils vorgegebenen Geometrie. Auf Anfrage sind auch kleinere Größen oder Sonderformen erhältlich.

Round

Rund

Unsere runden Vollkörper-Ingots sind in Außendurchmessern (AD) von bis zu 720 mm und Blockhöhen von bis zu 60 mm erhältlich.

Rectangular

Rechteckig

Heraeus bietet OM® als quadratischen Block (bis zu 590 x 590 mm) oder rechteckigen Block (bis zu 900 x 300 mm) an. Die maximale Blockhöhe beträgt 60 mm.

Flange

Ring

OM®-Ringe sind in der Form äußerst flexibel und an die jeweiligen Kundenanforderungen anpassbar. Der maximale Außendurchmesser beträgt 800 mm. Je nach Innendurchmesser können sie zudem in größeren Höhen von bis zu 250 mm hergestellt werden.

Allgemeine Eigenschaften

Unit OM® 100
Density g/cm3 2.15 - 2.18
Porosity % <2.3
Pore size µm <20

Elektrische Eigenschaften

Unit OM® 100
Resistivity (20°C) Ω∙m >1018
Resistivity (1200°C) Ω∙m >1.3 x 105
Type Insulator
Dielectric constant (εr) @ 13,56 MHz 3.70

Mechanische Eigenschaften

Unit OM® 100
Tensile strength MPa 50
Flexural strength MPa 84
Compressive strength MPa >1000
Young modulus GPa 54

Thermische Eigenschaften

Unit OM® 100
Thermal expansion K-1 0.47 x 10-6
Thermal conductivity (20°C) W∙m-1∙K-1 1.24
Specific heat J∙g-1∙K-1 0.70
Max. working temperature °C 1100°C (long)
1300°C (short)
Reflectivity % ~80
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