Die beiden gebräuchlichsten Verfahren zur Dünnschichtmessung sind die Reflektometrie und die Ellipsometrie. Bei beiden handelt es sich um optische, kontaktlose Messverfahren, bei denen das von der Probe reflektierte Licht genutzt wird, um die Schichtdicke berührungslos zu messen.
Anwendung findet die Dünnschichtmessung beispielsweise in der Qualitätssicherung bei bestimmten Produktionsschritten in der optischen Industrie, aber auch im Bereich der Display- und Halbleiterfertigung.