Lampen zur Dünnschichtmessung

Optische Analyselampen von Heraeus werden in den verschiedensten Industriebereichen verwendet, um die Schichtdicke dünnster Beschichtungen zu ermitteln

Dünnschichtmessung

Die beiden gebräuchlichsten Verfahren zur Dünnschichtmessung sind die Reflektometrie und die Ellipsometrie. Bei beiden handelt es sich um optische, kontaktlose Messverfahren, bei denen das von der Probe reflektierte Licht genutzt wird, um die Schichtdicke berührungslos zu messen.

Anwendung findet die Dünnschichtmessung beispielsweise in der Qualitätssicherung bei bestimmten Produktionsschritten in der optischen Industrie, aber auch im Bereich der Display- und Halbleiterfertigung.

Gemessen werden können:

  • Glatte Oberflächen / Gekrümmte Oberflächen
  • Ein- und Mehrschichten aus flüssigen und/oder festen Substanzen
  • Materialien wie Metalle, Kunststoff, Glas, etc.

Für die verschiedenen Anforderungen bietet Heraeus zuverlässige Analyselampen in verschiedenen Spektralbereichen an.

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