Materialien für Prüfnadeln

Für die Prüfung der Wafer in der Halbleiterfertigung braucht man hochpräzise, stabile Prüfmaterialien für die Prüfkarten (probe Cards). Nur so ist gewährleistet, dass die Bonding Pads zuverlässig, und über viele Messzyklen genau getroffen werden und präzise Testergebnisse erreicht werden.

An die Prüfnadeln in der Prüfkarte werden hohe Anforderungen gestellt: Sie müssen wegen der minimalen Abstände zwischen den einzelnen Pitches außerordentlich gerade sein und eine hohe elektrische Leitfähigkeit mitbringen. Außerdem müssen sie ausreichend elastisch sein und eine hohe mechanische Festigkeit auch bei hohen Temperaturen mitbringen, damit sie über viele Belastungszyklen verwendet werden können.

Ausscheidungsgehärtete PdAgCu Legierungen und hochfeste PTNi Legierungen bringen die hierfür notwendigen Eigenschaften mit, sie sind geeignet für hohe Ströme und nicht anfällig für Kaltverschweißung mit anderen Materialien. Neben ihrer besonderen Formstabilität auch unter Hitze trägt auch die besondere Korrosionsbeständigkeit zu einer langen Lebensdauer bei.

Heraeus bietet Ihnen Prüfnadeln in vielen Varianten in einer hohen, gleichbleibenden Qualität mit schnellen Lieferzeiten an. Profitieren Sie von unserer jahrzehntelangen Materialkompetenz und unserem Experten Know How in der Produktionstechnik.

Vorteile:

  • Hohe elektrische Leitfähigkeit für die Übertragung hoher Ströme
  • Gute Signal-Rauschen Bilanz für präzise Testergebnisse
  • Besonders formstabile Materialien mit hoher Festigkeit, Elastizität und Temperaturbeständigkeit für die Fertigung von perfekten Prüfnadeln
  • Die Materialeigenschaften können durch Kombination von Durchmesser und Härtungsprozessen an Ihre Bedürfnisse angepasst werden
  • Vermeidung von Kaltverschweißung mit den Bonding Pads
  • Verschiedene Materialalternativen je nach Anwendung für die perfekte Wahl für Ihre Anforderung
  • Hohe, gleichbleibende Qualität, Schnelle Lieferzeiten
  • Wir unterstützen Sie bei der Auswahl und Anpassung des geeigneten Materials und Konfiguration für Ihre Anwendung. Profitieren Sie von der einzigartigen Kombination von Material Know How mit Applikationsverständnis und Produktionstechnik.
  • Materialien können wir in unserem Kontaktlabor für Sie vortesten.
  • Wir bieten Ihnen den kompletten Edelmetallkreislauf von der Beschaffung über die Fertigung bis hin zum Recycling an.
Probe Needles

Anwendungen:

Prüfnadeln werden als Kontakte in Prüfkarten eingesetzt für

  • Vertical probe cards
  • Cantilever probe cards
  • MEMS probe cards
  • Lead in wires

Produkteigenschaften / Technische Daten:

Heraeus bietet Ihnen je nach Wunsch Drähte auf Spulen mit großem Durchmesser (ca. 250…300mm Ø) oder Drahtabschnitte in definierter Länge, verpackt in Röhrchen mit verschiedenen Packungsgrößen an.

Die Dicke des Drahtes kann auf Ihre Anforderung abgestimmt werden und beträgt je nach Spezifikation zwischen 0,050mm - 0,150mm im Durchmesser.

Materialien

  • Ausscheidungsgehärtete PdAgCu Legierungen: Hera648 und Hera 6321 (nicht für USA, Japan, da patentiert bis April 2017 bzw. Mai 2018)
  • Hochfeste PtNi Legierungen
  • Hochleitfähige und –feste Rh Legierungen (Rhodium Drähte)

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