Quarzglasprodukte für Batchöfen

Quarzprodukte für Batchöfen

Heraeus ist in der Lage Quarzglasprodukte für alle gängigen Anwendungen, wie z. B. für die chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD), die epitaktische Abscheidung und andere Hochtemperaturverfahren, zu liefern. Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen 4 bis 12 Zoll-Wafer verarbeitet werden.

Darüber hinaus kann Heraeus auch einsatzfähige (CFI) Quarzglasprodukte zur Verfügung stellen, so dass Kunden unsere Produkte direkt nach der Lieferung und ohne weitere Behandlung verwenden können.

Eine optimale Performance der Highend-Quarzglasprodukte wird durch Design-Optimierung, die Auswahl der idealen Rohstoffe und die absolute Reinheit bei der Fertigung sichergestellt. Durch ein weltweites Netzwerk bietet Heraeus auch Beratung beim optimalen Design an.

Produktbeispiele für Batch-Systeme sind Prozessrohre, Liner-Rohre, Waferträger und -pedestal, Gasinjektoren, Glasglocken und viele weitere komplexe Komponenten.

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