Quarzglasprodukte für Single-Wafer-Anwendungen

Fertigkomponenten für Single-Wafer-Anwendungen

Heraeus ist in der Lage, Quarzglasprodukte wie z. B. Ringe, Fenster, GDPs, Injektoren, Dome und Liner für CVD-, RTP/RTO-, EPI- und Ätzverfahren für alle gängigen Single-Wafer-Anwendungen zu liefern.

Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen 4 bis 12 Zoll-Wafer verarbeitet werden.

Heraeus kann außerdem auf eine Vielzahl von Basismaterialien zurürckgreifen, um spezifischen Kundenanforderungen gerecht zu werden.

Ein optimale Performance der Quarzglasprodukte wird bestimmt durch einen optimalen Anlagenentwurf , die Auswahl des geeigneten Basismaterials , die Oberflächenstruktur und Reinheit. Durch ein weltweites Netzwerk bietet Heraeus auch Beratung bei Anlagenentwürfen an.

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