Quarzglasplatten für Halbleiteranwendungen

Quarzplatte für Halbleiteranwendungen

Quarzglasplatten und -scheiben werden in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Booten, Sockeln, Wafern und Waferträgern für Batchöfen benötigt.

Für Single Wafer Anlagen werden Platten zur Herstellung von Fenstern, Gasverteilerplatten, Waferträgern und Suszeptoren verwendet. In Nassreinigungsprozessen wird der Werkstoff für Tanks eingesetzt.

Große Platten werden auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen (Flat Panel Displays – FPDs) verwendet.

Heraeus bietet eine Vielzahl von Materialqualitäten, um die Anforderungen der Halbleiterindustrie an das visuelle Erscheinungsbild, die Größe, die Form und die Reinheit zu erfüllen.

nach oben