Quarzglasstäbe für Halbleiteranwendungen

Quarzglasstab

Quarzglasstäbe werden in der Halbleiter- und Solarindustrie für die Fertigung von Komponenten verwendet, die zur Herstellung von Waferbooten, -trägern und -sockeln für das Batch-Processing benötigt werden.

Die kritischen Aspekte solcher Quarzglasstäbe sind ein niedriger Blasengehalt, eine hohe Reinheit und exakte geometrische Maßhaltigkeit.

Quarzstäbe als Komponenten
Quarzglasstäbe sind in der Lage, die hohen Anforderungen an die Maßhaltigkeit und optischen Eigenschaften bei der Herstellung von Batchofen-Komponenten zu erfüllen. Das Heraeus-Portfolio deckt eine Vielzahl von Materialqualitäten ab, um allen OEM-Ansprüchen gerecht zu werden, wozu auch höchste Reinheitsanforderungen zählen.

Quarzstäbe zum Schweißen
Schweißstäbe werden in mehreren Materialqualitäten entsprechend dem zu schweißenden Material angeboten. Sie sind in flammengeschmolzenen, elektrisch geschmolzenen, synthetischen und opaken Materialqualitäten erhältlich.
Die typischen geometrischen Abmessungen umfassen Durchmesser zwischen 1,5 und 5 mm.

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