Oberflächenbehandlungen von Quarzglas

Quarz-Oberflächenbehandlungen_Beschichtungstechnik

Die Oberflächenbeschaffenheit von Quarzglasprodukten spielt insbesondere bei Halbleiterprozessen eine entscheidende Rolle.

Heraeus bietet entsprechende Oberflächenbehandlungen an, um die Lebensdauer von Quarzglasprodukten zu erhöhen und/oder Kosteneinsparungen zu ermöglichen.

Heraeus konzentriert sich auf innovative Materialien und Prozesse. Wir verwenden Verfahren, die aus dem Glasbläserhandwerk und Keramikbereich stammen. Eine Kombination aus beiden Bereichen ermöglicht uns das Aufbringen opaker Quarzglasschichten auf transparentes Quarzglas - das „Heraeus Reflective Coating“.

Diese opake Quarzbeschichtung zeichnet sich durch hervorragende Reflexionseigenschaften aus, insbesondere im infraroten Strahlungsspektrum. Diese Eigenschaft kann genutzt werden, um Hochtemperaturprozesse hinsichtlich Energiemanagement und Gleichförmigkeit der Temperaturzonen zu optimieren. HRC ist aus demselben Ausgangsmaterial wie alle anderen hochreinen Quarzglaslösungen von Heraeus abgeleitet; daher ist der Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) der gleiche wie der von Quarzglas.

Datenblatt: HRC® - Heraeus Reflective Coating for Fabricated Components
Datenblatt: HRC® - Heraeus Reflective Coating for Lamp Manufacturing

Bei Halbleiterbeschichtungsprozessen wird neben den Wafern auch das Quarzglas mit dünnen Filmen beschichtet. Diese Schichten müssen regelmäßig entfernt werden, da es sonst im Prozess selbst zu Ablösungen und unerwünschter Partikelbildung kommen kann, was die Qualität der Hergestellten Wafer reduziert. Der Abstand zwischen zwei Wartungsintervallen (Mean Time Between Cleaning, MTBC) hängt unter anderem von der Beschaffenheit der Oberfläche des Quarzglasbauteils ab. Heraeus SST ist eine Oberflächenbehandlung, die so konzipiert wurde, dass die Dicke der abgeschiedenen Schicht erhöht und die Entstehung von Teilchen unterdrückt wird. Dies führt zu einer Senkung der Betriebskosten der Quarzglasprodukte.

Für Halbleiter-Ätzprozesse mit abgeschiedenen Polymerfilmen bietet Heraeus SST eine saubere Oberfläche, die eine hervorragende Haftung des Films gewährleistet. Dies kann die Einbrennzeit reduzieren und die MTBC verlängern.

Datenblatt: SST - Special Surface Treatment

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