Quarzglasblöcke für Halbleiteranwendungen

Quarzglasblock

Heraeus stellt Quarzglasblöcke in einer Vielzahl von Formen und Qualitäten her. Diese Blöcke zeichnen sich durch niedrigen Blasengehalt und hohe Materialhomogenität aus.

Heraeus nutzt verschiedene Schmelztechnologien, um massive und hohle Blöcke mit Größen bis 1300 mm und darüber hinaus herzustellen.

  • Endkonturnahe („Near net shape“) - Flammengeschmolzene Blöcke (TSC®-3, TSC®-4)
    Zur Herstellung von flammengeschmolzenen TSC®-Blöcken setzt Heraeus das kontinuierliche Schmelzverfahren ein. Dieses einzigartige Verfahren ermöglicht unseren Kunden, Materialien mit sehr niedrigem Gehalt an Alkalien, Blasen und Einschlüssen zu nutzen.
    Darüber hinaus ermöglichen endkonturnahe und hohle Blöcke bis 1300 mm Kosteneinsparungen bei Volumenanwendungen.
    Datenblatt: TSC® Series - Flame fused Ingots and Solids

  • Herausragendes visuelles Erscheinungsbild - Elektrisch geschmolzene Blöcke (HSQ® 300, HSQ® 330)
    Elektrisch geschmolzene Quarzblöcke mit hoher Viskosität werden in mehreren Heißformschritten hergestellt. Dadurch entsteht ein Material mit extrem niedrigem Blasengehalt und verbesserter Homogenität.
    HSQ®-Blöcke sind als Hohlzylinder mit einem Außendurchmesser bis 300 mm sowie als große Rundblöcke bis 700 mm und größer erhältlich. HSQ®-Blöcke sind außerdem auch in einem rechteckigen Format erhältlich.
    Datenblatt: HSQ® 300/330 MF Solids

  • Blöcke aus synthetischem Quarzglas (Spectrosil®, HSQ® 910)
    Heraeus produziert Blöcke aus synthetischem Quarzglas, um den höchsten Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Alle synthetischen Werkstoffe von Heraeus zeichnen sich durch eine Reinheit im ppb-Bereich und absolute Blasenfreiheit aus.
    HSQ® 910 wird typischerweise für Kuppeln und Flansche an Rohren in anspruchsvollen Anwendungen eingesetzt.
    Spectrosil® ist ideal für Scheiben bei Anwendungen im tiefen UV-Bereich geeignet.
    Datenblatt: Spectrosil®1000 - Synthetic Fused Silica Ingots

  • Opake Werkstoffe (OM® 100)
    OM 100 ist ein hochreines opakes Quarzglas. Durch die eigenentwickelte Technologie wird eine einzigartige Mikroporosität erzielt, die im Vergleich zu anderen opaken Materialien überlegene thermische Eigenschaften bietet.
    Aufgrund seiner einzigartigen Struktur bietet OM 100 eine hohe mechanische Festigkeit, hervorragende Dichtungseigenschaften und einen guten Nassätzbeständigkeit.
    OM 100 ist in Form von endkonturnahen Ringen und Festkörpern erhältlich und ermöglicht so eine optimale Materialausnutzung.
    Datenblatt: OM® 100

  • Heraeus Black Quartz HBQ®
    Heraeus Black Quartz HBQ® ist ein einzigartiger schwarzer, opaker Quarzglas-Verbundwerkstoff, der zusätzlich zu den Eigenschaften unserer verbreiteten Werkstoffe OM® und HSQ® einzigartige Vorteile bietet. HBQ® liefert unseren Kunden die passenden Antworten zu ihren Herausforderungen. Überzeugen Sie sich selbst und treten Sie ein in eine Welt voller Möglichkeiten.
    Broschüre: Heraeus Black Quartz (HBQ®) - a revolutionary hybrid material

    Mehr Informationen über HBQ® finden Sie hier .
nach oben