Quarzglasrohre für Halbleiteranwendungen

Quarzglasrohre

Quarzglasrohre werden in Batchöfen als chemisch reine Reaktionskammern, als Gas- oder Flüssigkeitseinlässe oder als Transportrohre eingesetzt.

Die kritischen Aspekte dieser Quarzglasrohre sind ein niedriger Blasengehalt, eine hohe chemische Reinheit und exakte Maßhaltigkeit, um den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.

Die Rohre sind als Rohmaterial und als Fertigkomponenten erhältlich.

Rohre aus natürlichem Quarzglas

Heraeus bietet Rohre aus elektrisch geschmolzenem Quarzglas in einer Vielzahl von Materialqualitäten an, um den unterschiedlichen chemischen Reinheitsanforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Das elektrische Schmelzverfahren liefert Quarz mit höchster Viskosität für anspruchsvollste Hochtemperatur-Batch- und Single-Wafer-Ofenanwendungen.
Die verfügbaren Durchmesser reichen von 2 bis 960 mm.
Mutterrohre zum Aufblasen sind ebenfalls erhältlich.

Rohre aus synthetischem Quarzglas

Angesichts der immer kleineren Strukturgrößen in der Halbleiterindustrie nimmt die Bedeutung saubererer Prozessumgebungen immer mehr zu. Diese Anforderung kann durch die Verwendung von synthetischem Quarzglas erfüllt werden. Synthetisches Schmelzen bietet die niedrigsten Verunreinigungswerte im ppb-Bereich.
Die verfügbaren Durchmesser reichen von 2 bis 960 mm.

Hochtemperaturstabilisierte Rohre

Anspruchsvolle Horizontalofenanwendungen, wie z. B. Hochtemperatur- (> 1150 ° C) Diffusions-, Oxidations- und Glühprozesse, erfordern ein spezielles temperaturstabilisiertes Material. Als Lösung für diese anspruchsvollen Umgebungen bietet Heraeus HSQ® 400 an.

Datenblatt: HSQ® 400 - High temperature stabilized tubes

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