薄膜型白金測温抵抗体について

薄膜型白金測温抵抗体

ヘレウスの薄膜技術のセンサは、従来の巻線型の進化と言えます。白金スパイラル線とセラミックチューブの代わりに、アルミナ基板上に白金蒸着膜回路を施しています。半導体の生産工程と同様の最新技術で、ほぼ完全自動化されたプロセスで生産しています。

温度係数(TCR)を調整された白金は、真空中でアルミナ基板に蒸着され、回路以外の余分な白金はエッチングされ、さまざまなセンサ素子となります。数十年の豊富な経験と卓越した技術で、写真製版方式を使用することにより3μmまでの膜厚回路を形成することも可能です。

主なアプリケーション

従来のサーミスタでは測定できない温度範囲と測定精度、そして熱電対にはない取扱いの良さに加え、高精度という特長があります。このような特長を生かし、次のような分野で使用されています。

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