氣溶膠沉積法可廣泛應用於眾多領域。
在電子行業中,電氣隔離、散熱和電磁遮罩不可或缺,尤其是電動汽車崛起帶來的新需求。通過氣溶膠沉積法,在室溫下用原料或定制的原料混合物製備的塗層,具有優異的附著力。
陶瓷電路板覆有AD-Al2O3塗層,以實現電力電子元件的電氣絕緣。圖為活性金屬釺焊(AMB)Si3N4基板上的塗層。
腐蝕、劃痕——表面損壞的形式很多,尤其是暴露在高溫下的表面。陶瓷塗層能有效防止表面腐蝕。
磨損
該圖為不銹鋼工件在振動載荷作用下有和無陶瓷塗層的磨損對比(銷盤式測試方法)。與無塗層的工件相比,有5µm厚 AD-Al2O3 塗層的工件磨損明顯降低。
腐蝕
用於高溫應用的特種鎳合金易受腐蝕。從掃描電子顯微鏡的橫截面可以看出,氣溶膠沉積法製備的塗層能顯著提高合金的耐蝕性。
下載我們的最新案例研究:高溫鎳合金的使用壽命顯著延長
越來越多的感測器使用塗層材料。它可以作為鈍化層保護感測器部件免受外部影響,如受相鄰材料的有害摻雜劑影響。或者有源部分由相關的塗層材料組成,如在NTC、氣體感測器或壓電體中等。採用氣溶膠沉積法製備塗層,能確保設備的卓越性能。
高溫溫度感測器保護塗層案例研究下載
半導體生產中,在晶片製造的等離子體刻蝕工藝步驟中,腐蝕性氣體會降低設備的使用壽命。不僅如此,腐蝕還會在腔壁產生可剝落的腐蝕產物,污染晶圓上的零件,從而導致廢品率的增加。在等離子刻蝕室的暴露部分沉積抗刻蝕保護塗層,如氧化釔(Y2O3)塗層,可顯著減少這一問題。如果採用氣溶膠沉積法,可使抗刻蝕塗層的性能更優異。
該圖為傳統熱噴塗和氣溶膠沉積的Y2O3塗層的等離子體耐蝕性比較。對於後者,腐蝕速率和等離子體刻蝕室中的腐蝕產物明顯降低。
近年,防腐塗層的發展突飛猛進。氣溶膠沉積法已經通過羥基磷灰石證明了自身實力。不僅如此,它也可以沉積無法進行濺射或蒸發的混合材料。
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