PID技術では、真空紫外（VUV）領域で既知の光子エネルギーを持つランプを使用します。
ランプからの照射エネルギーは、その光子エネルギーよりも低いイオン化ポテンシャルを持つ気体分子を光イオン化する目的で、その光が利用されます。典型的な光イオン化検出器は、揮発性有機化合物（VOC）やその他のガスをppmからppbレベルで測定することが可能です。
エクセリタスノーブルライトは、強度、スペクトル純度、長寿命という点で最高レベルの性能を持つPIDランプ製品群を取り揃えています。DC 励起ランプと RF 励起ランプの２種類を揃え、さまざまな励起ガスおよび窓材を提供しております。また、標準電源もございます。
また、エクセリタスノーブルライトのテクニカル・チームはOEM企業様と密に連携し、お客様指定の寸法や性能要件を満たす製品を設計・製造しております。ぜひ、ヘレウスの設計専門ノウハウをご活用ください。
