Heraeus 플래시 램프 시스템

플래시 시스템

Heraeus는 제논 플래시 램프의 개발과 제작에서 쌓은 방대한 경험 및 균일성 예측과 시스템 설계 분야에서 축적한 전문 지식을 통해 제논 플래시 램프를 포함한 맞춤형 종합 솔루션을 제공합니다.

humm3™ 는 Heraeus의 획기적인 기술로서, 자동 섬유 배치(Automated Fiber Placement, AFP)에 필요한 열 프로세스의 혁신적인 진보를 보여줍니다.

  • 자외선 스펙트럼 또는 적외선 스펙트럼
  • 높은 출력 피크 펄스 - 메가와트/cm2(MW)
  • 짧은 펄스 길이 – 마이크로세컨드(µs)
  • 높은 반복률 - 킬로헤르츠(kHz)
  • 즉각적인 온/오프 스위치
  • 심한 열 영향 없음 - 높은 온도로 열에 민감한 기판 처리
  • 에너지 감시 기능
  • 간단하게 램프 교체
  • 최적의 에너지 수율을 위해 내장된 통합 QRC© 반사판
  • 뛰어난 효율성
  • 적층 가능한 광학 모듈을 통한 넓은 조사면
  • 유연한 운영 소프트웨어
  • 외부 시스템에 간단하게 통합
  • 무독성 (수은 없음)

  • 급속 열처리 (Rapid Thermal Processing, RTP)
  • 플래시 램프 어닐링 (Flash Lamp Annealing, FLA)
  • 솔라 셀 및 솔라 모듈 시험
  • 경화, 소결, 가열
  • 살균
  • 반도체 가공