Prüfnadel-Materialien
für die Waferprüfung

Die Waferprüfung (auch EDS - Electrical Die Sorting) ist ein elementarer Schritt bei der Herstellung jeder Halbleiterstruktur und Prozesstechnologie. Nach der Herstellung der integrierten Schaltkreise und vor ihrer Trennung vom Wafer werden alle einzelnen elektrischen Kontakte nach bestimmten elektrischen Testmustern auf Funktionsfehler geprüft. Dieser Test der integrierten Schaltkreise (auch CP - Circuit Probe genannt) wird von automatisierten Testeinheiten durchgeführt und erfordert ein hohes Maß an Zuverlässigkeit an der Schnittstelle zwischen Tester und Waferkontaktpad. Diese Schnittstelle wird durch Prüfkarten und Prüfnadeln bereitgestellt.

An die Prüfnadeln in der Prüfkarte werden hohe Anforderungen in puncto elektrische Leitfähigkeit, Härte und dünner Geometrie gestellt, um die Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung zu meistern. Prüfnadeln müssen äußerst gerade und gleichzeitig ausreichend elastisch sein. Auch bei hohen Temperaturen müssen sie eine gute mechanische Festigkeit aufweisen, um über viele Lastzyklen und Aufsetzvorgänge eingesetzt werden zu können. Ein entscheidendes Kriterium für die Effizienz von Prüfkarten ist die Reduzierung der Zeit pro Test, der Kosten pro Test und die Erhöhung der Anzahl der parallelen Tests bei gleichzeitiger Minimierung der Kontamination (niedriger Kontaktwiderstand CRes).

Von Standardwerkstoffen bis hin zu neuen metallurgischen Lösungen aus fortschrittlichen Legierungen liegt der Schwerpunkt der Entwicklung auf guten Federeigenschaften, hoher Leitfähigkeit und langer Lebensdauer, wobei die mechanischen Eigenschaften an die individuellen Anforderungen angepasst werden können.

1. Wir schmelzen die Legierung, die Sie brauchen

• Durch die Kombination verschiedener Durchmesser und Härteverfahren können die Materialeigenschaften an Ihre Anforderungen angepasst werden
• Eine Vielzahl von alternativen Werkstoffen steht zur Verfügung zur Auswahl der perfekten Lösung für Ihre Anwendung
• Hervorragende elektrische Leitfähigkeit und mechanische Eigenschaften sorgen für eine langlebige und zuverlässige Prüfleistung
• Äußerst formstabile Werkstoffe mit hoher Festigkeit, Elastizität und Wärmebeständigkeit sind verfügbar für die Herstellung sehr genauer Prüfnadeln

2. Wir passen unsere Produkte an Ihre Bedürfnisse an, von der Legierung bis hin zum ultrafeinen Draht

• Unterstützende Beratung bei der Auswahl und Anpassung des richtigen Materials und der richtigen Konfiguration für Ihre Anwendung
• Gleichbleibend hoher Qualitätsstandard & schnelle Lieferzeiten
• Kompletter Edelmetallkreislauf - vom Einkauf über die Herstellung bis zum Recycling

3. Wir entwickeln innovative Materialien für modernstes Testequipment

• Einzigartige Kombination aus Werkstoffkompetenz, Anwendungs- und Fertigungs-Know-how
• Umfangreiche Möglichkeiten zur mechanischen/elektrischen Prüfung (CCC/MAC) und Oberflächenanalyse in den Heraeus Laboren

Palysium ist eine innovative Heraeus-Legierung, die speziell auf Prüfanwendungen zugeschnitten ist. Sie zeichnet sich durch eine sehr hohe elektrische Leitfähigkeit in Verbindung mit hervorragenden mechanischen Eigenschaften und guter Verarbeitbarkeit aus. Die hohe elektrische Leitfähigkeit eröffnet neue Anwendungsmöglichkeiten und kann die Kosten der Halbleiterprüfung senken. Bei gleicher Querschnittsfläche kann deutlich mehr Strom übertragen werden. So können Anwendungen mit hoher Leistung getestet werden. Gleichzeitig können die Nadeln bei gleichem Strom erheblich schrumpfen, was sich positiv auf den Pitch, die Pinanzahl und die Prüfparallelität auswirkt.