現代のプロセス開発では、数値解析・シミュレーション(コンピューター支援エンジニアリング、CAE)は非常に重要です。バーチャル製品のデータモデルを活用して生産設備を解析し、最適化します。製品開発プロセスのかなり初期の段階で実施することで、CAEは実践での十分な試行となる方法を提供し、プロジェクトの開発時間を短縮し、さらにそれに関わるコストも低減します。
ウェハの洗浄や乾燥、塗料の乾燥、プラスチック成形といった加熱プロセスは、たいていは熱加工(TP)を用いて、実験室においてコストと時間のかかる方法で行われています。CAEを用いると、これらのプロセスを素早く効率的にシミュレーションし、最適化することができます。
- CAEシミュレーションを利用することによって、基板やコンポーネント内の温度分布や、周囲に及ぼす影響について、正確に知ることができます。
- プラントのエアフロー経路やさまざまなチャンバー内で起こりうる圧力降下を計算でき、使用するファンや温度勾配に応じて可視化できます。
- 上記のようにプラント設計への変更を事前にコンピューター上でチェックし、最適化の施策を評価できます。
- 品質変動の理由や、どのように重要な生産プロセスを最適化するのかが分かります。これにより、エネルギー効率とプロセス品質を向上させる可能性を容易に見出せるようになります。